Capteur d'écoulement de gaz Die XGZF9304
APPLICATIONS
- Ventilateur,Générateur d'oxygène, Appareil CPAP, Anesthésie, Équipement de soins intensifs, etc.,.
- CVC, Purificateur d'air, Surveillance environnementale, etc.,.
- Contrôle des piles à combustible et davantage de contrôle et de mesure du débit d'air
INTRODUCTION
La puce de détection de débit XGZF9304 est une mesure thermodynamique du flux de gaz à travers la surface de la puce.. Tous les tampons sont tirés d'un côté pour faciliter l'emballage. De plus, une résistance à faible source de chaleur est utilisée afin qu'elle puisse fonctionner à des tensions aussi basses que 5 V., la puce a donc une faible consommation d'énergie. La zone sensible de la puce est constituée d'une résistance chauffante et de deux jeux de thermopiles. Les thermopiles sont réparties aux deux extrémités de la résistance chauffante en amont et en aval, quand un gaz traverse, la chaleur en amont est évacuée et refroidie, et l'aval est chauffé par apport de chaleur, et la répartition de la chaleur n'est plus symétrique, et la différence entre la tension de sortie des thermopiles en amont et en aval est utilisée comme sortie du capteur, ce qui améliore la précision de la mesure et réduit l'erreur.
Par rapport aux capteurs de débit MEMS traditionnels, XGZF9304 présente deux avantages clés. Le premier est le remplacement de la thermistance par un élément de mesure de la température à thermopile de conception structurelle spéciale., qui peut réaliser un signal à très faible bruit, améliorer la précision des mesures et simplifier le circuit périphérique. Deuxièmement, les puces de détection de flux MEMS traditionnelles utilisent des sondes pour mesurer, il est facile de détruire le champ d'écoulement d'origine, de sorte que la précision de la mesure est réduite, tandis que le XGZF9304 peut être placé dans le collecteur, réduisant le risque de contamination de la surface de la puce.
DIMENSION (Unité:millimètre)
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