ガス流量センサーダイ XGZF9304
アプリケーション
- 人工呼吸器,酸素ジェネレーター, CPAP装置, 麻酔, クリティカルケア機器など,.
- HVAC, 空気清浄器, 環境監視など,.
- 燃料電池制御とより多くの空気の流れの制御と測定
前書き
XGZF9304フローセンシングチップは、チップの表面を通るガスの流れの熱力学的に基づいた測定です. すべてのパッドは、パッケージを容易にするために片側に引っ張られます. さらに、低熱源抵抗器が使用されているため、5Vの低い電圧で動作できます。, したがって、チップの消費電力は低くなっています. チップの敏感な領域は、加熱抵抗器と2セットのサーモパイルで構成されています. サーモピイルは、加熱抵抗器の両端に上流および下流に分布しています, ガスが流れるとき, 上流の熱が奪われ、冷却されます, そして、下流は熱送達によって加熱されます, そして、熱分布はもはや対称ではありません, 上流と下流のサーモピールの出力電圧の差は、センサーの出力として使用されます, これにより、測定精度が向上し、エラーが減少します.
従来のMEMSフローセンサーと比較してください, XGZF9304には2つの重要な利点があります. 1つ目は、サーミスタの特別な構造設計のサーモパイル温度測定要素に置き換えることです, これは、超低ノイズ信号を実現できます, 測定精度を改善し、末梢回路を簡素化します. 第二に, 従来のMEMSフローセンシングチップは、プローブを使用して測定します, 元のフローフィールドを簡単に破壊するのは簡単です, 測定精度が低下するように, XGZF9304はマニホールドに配置できます, チップ表面の汚染の可能性を減らす.
寸法 (単位:んん)
XGZF9304の詳細情報, データシートを参照してください cfsensorに連絡してください
